Transpector XPR3L 氣體分析系統

通過監測氣體壓力、檢測污染和查找泄漏，優化太陽能電池和 LCD 過程良率

用于監控過程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統提供的經濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。

功能

• 通過運行高達 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經濟實惠的雙用功能、過程監控和基本真空保證
• 經濟高效的過程監控器，可用于可擴展的生產設計
• 通過持續自動監控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質，提高過程良率，減少碎片，提高產品質量
• 通過以高靈敏度和極小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產力
• 可在 1 - 100 amu 質量范圍內運行，能夠檢測各種材料、污染或副產品，確保您的投資**，降低投資風險
• 與 FabGuard 監控和分析系統相兼容，提供可靠、先進的診斷和過程控制

典型應用

• 太陽能/光伏設備制造
• LCD 制造
• PVD 過程監控
• 監控過程氣體壓力和氣體比率
• 暴露和鑒別污染
• 檢測和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
• PM 恢復/故障排除和驗證基本真空